热处理是软磁合金得优良性能的关键工艺。通过控制加热温度、保温时间、冷却速度和冷却方式，改变合金在特定加热介质中的内部结构和磁性结构，以获得所需的磁性。软磁合金的热处理包括高温退火和磁场热处理。
（1） 高温退火。其目的是消除加工应力，去除对软磁性能有害的非金属夹杂物，使晶粒充分均匀地再结晶和长大，形成晶粒取向。高温退火有两种：氢热处理和真空热处理。后者主要涉及非真空熔炼合金和含有易氧化元素的合金。为了在有序-无序转变期间改变软磁合金的有序度，从而调整磁晶各向异性常数K1和磁致伸缩系数λs。通常通过控制冷却速率或将保持时间改变到TC以下来实现。
（2） 磁场热处理。一些软磁合金经磁场热处理后，会形成单轴感应磁各向异性和磁织构，从而改变合金的磁化行为。特别是对于具有小磁晶各向异性的合金，这种感应磁各向异性起主要作用。例如，65%Ni-Fe合金具有K1≈ 在缓慢冷却条件下为0。因此，磁场热处理后，当沿施加磁场的方向测量磁场时，其磁滞回线为矩形；当在垂直于施加磁场的方向上测量时，磁滞回线是平坦的。磁场热处理有两种工艺系统：一种是将合金加热到略高于居里温度的温度，然后在磁场中冷却；另一种方法是在略低于居里温度的温度下进行保温和磁场热处理。在期间也有两种施加磁场的方式：纵向和横向。前者的磁场方向与材料在工作过程中的磁化方向一致，后者相互垂直。
